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- Verlag: Diplomica
- Autor: Laurens Pudewill
- Artikel-Nr.: KNV63145478
- ISBN: 9783961465323
Die im Rahmen dieser Studie untersuchten nanoskaligen Sb2Te3-Schichten (Dünnfilme) wurden mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) hergestellt, welche eine homogene und konforme Abscheidung einzelner Atomlagen erlaubt. Beschrieben wird der Einfluss der Prozessparameter der ALD auf die Struktur, die Morphologie und die thermoelektrischen Transporteigenschaften der Sb2Te3-Schichten. Eine Variation der Prozesszeiten beeinflusst das Wachstum der nanoskaligen Schichten hinsichtlich Kristallitgröße und Oberflächenrauheit. Die thermoelektrische Charakterisierung umfasst die kombinierte Messung des Hall-Koeffizienten, des Seebeck-Koeffizienten und der elektrischen Leitfähigkeit.