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Atomic Layer Processing
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  • Wiley-VCH
  • Thorsten Lill
  • KNV87353361
  • 9783527346684
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Produktinformationen "Atomic Layer Processing"
This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.
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