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- Verlag: Wiley & Sons
- Autor: Wendong Zhang
- Artikel-Nr.: KNV53358204
- ISBN: 9781118717967
* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices